قطعات نیمه هادی تیتانیوم
سینی حمل آلیاژ تیتانیوم نیمه هادی-که توسط China Super Tech Co., Ltd. راه اندازی شد، یک جزء هسته ای تقریباً-شبکه- است که به طور خاص برای تجهیزات لیتوگرافی پیشرفته- طراحی شده است. وزن آن تقریباً 80 کیلوگرم است. این از یک بستر آلیاژ تیتانیوم از طریق یک فرآیند قالبگیری تکتکهای ساخته شده است و میتواند بهطور پایدار ماژولهای ویفر را در محیط تولید نیمهرسانا با تمیزی{10}بالا و لرزش بالا حمل کند. این به طور قابل توجهی ضایعات مواد و انحرافات دقیق ناشی از روش های پردازش سنتی را کاهش می دهد.
- معرفی محصول
ویژگی های محصول
1. از دست دادن مواد کم
با استفاده از فرآیند رسوب پلاسمای قوس الکتریکی و استفاده از سیم تیتانیوم بهعنوان ماده خام برای همجوشی و قالبگیری لایهای-بهوسیله-لایه، میزان استفاده از مواد 70 درصد بیشتر از آسیاب سنتی است و مصرف غیر ضروری مواد تیتانیوم گرانبها را کاهش میدهد.
2. صلبیت ساختاری بالا
پس از شکل گیری، ساختار داخلی متراکم و یکنواخت است، بدون عیوب تخلخل رایج در ریخته گری سنتی. احتمال تغییر شکل آن در شرایط حرکت با سرعت زیاد تجهیزات کمتر است و نوسان دقت کمتر از 0.02 میلی متر در طول استفاده طولانی مدت است.
3. استرس پسماند کم
پس از شکلگیری، یک درمان انحصاری برای پیری{0}}با دمای کنترلشده برای اجزا ارائه میشود. تنش پسماند داخل قطعات بسیار کمتر از سطح استاندارد صنعتی است. هیچ تغییر شکل غیرمنتظره ای در طول پردازش دقیق بعدی رخ نخواهد داد.
4. تمیزی و سازگاری بالا
سطح آلیاژ تیتانیوم را می توان با غیرفعال سازی درمان کرد، که مستعد رسوب ذرات فلز نیست و به طور کامل نیازهای تولید تمیزی بالای کارگاه نیمه هادی را برآورده می کند.
برنامه کاربردی محصول
1. حامل ویفر برای تجهیزات لیتوگرافی
به عنوان سینی حامل ویفر در سیستم لیتوگرافی، ماژول ویفر را در طول{0}}حرکت با سرعت بالا و فرآیند هم ترازی دقیق به طور ایمن نگه میدارد، از جابهجایی ویفر در طول فرآیند نوردهی جلوگیری میکند و از دقت حکاکی خط هر ویفر اطمینان حاصل میکند.
2. حامل پوشش خلاء
در داخل دستگاه پوشش خلاء نیمه هادی قرار می گیرد، تراشه ها را به صورت دسته ای قرار می دهد. ماده تیتانیوم دارای نرخ انتشار گاز بسیار کم در محیط خلاء است، که خلاء بالا را در داخل محفظه پوشش مختل نمی کند و یکنواختی و چگالی لایه پوشش را تضمین می کند.
3. پایه ثابت تست تراشه
به عنوان مؤلفه پایه تجهیزات مرتبسازی و آزمایش تراشه، پایداری بالایی که وزن خودش ایجاد میکند، میتواند لرزش خفیف ناشی از مرتبسازی{0}}سرعت بالای تجهیزات را خنثی کند و تراز کردن پروب و پینهای تراشه را دقیقتر کند و میزان خطای آزمایش را کاهش دهد.
خدمات سفارشی
China Super Tech Co., Ltd. میتواند خدمات سفارشیشده کامل-فرآیند را از تطابق تقاضا تا تحویل محصول ارائه دهد. با تکیه بر فناوری رسوبگذاری آلیاژ تیتانیوم بالغ، میتواند به سرعت بیلتهایی با شکل تقریباً خالص-بدون نیاز به تولید قالبهای مکرر تولید کند. پس از آن، تنها مقدار کمی پردازش دقیق برای دستیابی به دقت ابعادی مورد نیاز مطابق با مشخصات مشتری مورد نیاز است.
ما میتوانیم شکل و ساختار تقویتکننده داخلی اجزا را با توجه به فضای نصب واقعی و نیازمندیهای تحمل بار تجهیزات مشتری تنظیم کنیم، و همچنین میتوانیم راهحلهای تصفیه سطح مناسب برای سطوح مختلف تمیزی را بر اساس نیاز مشتری ارائه دهیم. ما پیشرفت پردازش را در طول فرآیند پیگیری خواهیم کرد تا اطمینان حاصل شود که اجزای سفارشی می توانند مستقیماً در سیستم زنجیره تامین موجود تجهیزات نیمه هادی مشتری بدون نیاز به اصلاح اضافی در رابط تجهیزات قرار بگیرند.
مشخصات
|
پارامتر |
مشخصات |
|
نام محصول |
قطعات نیمه هادی تیتانیوم |
|
مواد |
تیتانیوم خالص (گرید 1، درجه 2)، آلیاژ تیتانیوم (گرید 5 / Ti-6Al-4V) |
|
استاندارد |
ASTM B348، ASTM B381، ASTM F67، ASTM F136 (سفارشی موجود) |
|
فرآیند تولید |
ماشینکاری CNC، تراشکاری دقیق، فرز، سنگ زنی |
|
اشکال موجود |
حلقه ها، محفظه ها، اهداف، فلنج ها، صفحات، وسایل، قطعات سفارشی |
|
قطر |
5 میلی متر - 1000 میلی متر |
|
طول |
تا 3000 میلی متر |
|
ضخامت |
0.5 میلی متر - 200 میلی متر |
|
تحمل |
0.005 ± میلی متر تا 0.02 ± میلی متر (بسته به طراحی) |
|
پایان سطح |
ماشینکاری شده، صیقلی، پرداخت آینه ای، سندبلاست، ترشی |
|
زبری سطح |
Ra 0.2-1.6 میکرومتر |
|
خلوص |
تا 99.9٪ (تیتانیوم خالص تجاری) |
|
تراکم |
4.51 گرم بر سانتی متر مکعب |
|
دمای عملیاتی |
تا 600 درجه |
|
مقاومت در برابر خوردگی |
مقاومت عالی در برابر اسیدها، قلیاها و مواد شیمیایی فوق{0} خالص |
|
گواهینامه |
ISO 9001، گواهی تست مواد (EN 10204 3.1 موجود) |
|
OEM / ODM |
موجود است |
سوالات متداول
چرا تیتانیوم به طور گسترده در تجهیزات نیمه هادی به جای فولاد ضد زنگ یا آلومینیوم استفاده می شود؟
+
-
تیتانیوم ترکیبی عالی از مقاومت در برابر خوردگی، گاز خروجی کم، نسبت استحکام بالا به وزن و سازگاری با محیطهای فوق-خلاء بالا (UHV) ارائه میکند. این ویژگی ها آن را برای تجهیزات تولید نیمه هادی که در معرض مواد شیمیایی تهاجمی، پردازش پلاسما و شرایط تولید با خلوص{4} بالا قرار دارند، ایده آل می کند. در مقایسه با فولاد ضد زنگ یا آلومینیوم، تیتانیوم کمتر احتمال دارد که ویفرها را با یونها یا ذرات فلزی آلوده کند و به بهبود بازده تولید و ثبات فرآیند کمک کند. معمولاً برای محفظه های خلاء، تجهیزات فرآیند، اجزای توزیع گاز، قطعات جابجایی ویفر و تجهیزات پلاسما استفاده می شود.
چگونه آلودگی ذرات را در طول تولید به حداقل برسانید؟
+
-
آلودگی ذرات یکی از بزرگترین نگرانیهای تولیدکنندگان نیمهرسانا است زیرا حتی ذرات میکروسکوپی نیز میتوانند بازده ویفر را کاهش دهند. برای به حداقل رساندن آلودگی، اجزای نیمه هادی تیتانیوم باید تحت ماشینکاری دقیق CNC و به دنبال آن پرداخت سطح مناسب مانند پرداخت، غیرفعال کردن، یا پولیش الکتریکی در صورت لزوم انجام شود. قطعات معمولاً با استفاده از فرآیندهای تمیز کردن درجه نیمههادی{2}} تمیز میشوند و در محیطهای تمیز بستهبندی میشوند تا از آلودگی در حین حمل و نقل جلوگیری شود. مشتریان همچنین می توانند زبری سطح خاص (Ra)، سطوح تمیزی و بسته بندی سفارشی را با توجه به نیاز تجهیزات خود درخواست کنند.
آیا می توانید قطعات نیمه هادی تیتانیوم سفارشی را طبق نقشه ها بسازید؟
+
-
بله. اکثر قطعات تیتانیوم نیمه هادی سفارشی-ساخت می شوند زیرا هر سازنده تجهیزات دارای مشخصات طراحی متفاوتی است. مشتریان معمولاً این موارد را ارائه میدهند: نقشههای دو بعدی یا فایلهای CAD سه بعدی (STEP، IGES، PDF) الزامات درجه مواد مشخصات پایان سطح تحملهای بحرانی الزامات تمیزی الزامات بازرسی بر اساس این مشخصات، ماشینکاری CNC دقیق، بازرسی ابعاد، قابلیت ردیابی مواد و بستهبندی سفارشی میتوانند قبل از حمل و نقل ارائه شوند.
چه اسناد با کیفیتی را می توان با قطعات نیمه هادی تیتانیوم ارائه کرد؟
+
-
سازندگان تجهیزات نیمه هادی اغلب برای اطمینان از سازگاری و ردیابی محصول، به مستندات با کیفیت کامل نیاز دارند. اسناد معمولی عبارتند از: گواهی آزمایش مواد (EN 10204 3.1) گزارش ترکیب شیمیایی گزارش خواص مکانیکی گزارش بازرسی ابعادی گزارش بازرسی CMM گزارش بازرسی سطحی گزارش ناهمواری سطح مقاله اول بازرسی (FAI) گواهی انطباق (COC) گزارشهای بازرسی اضافی نیز میتواند بر اساس مشخصات مشتری ارائه شود.
چگونه اجزای تیتانیوم می توانند عمر طولانی را در محیط های پردازش نیمه هادی خشن حفظ کنند؟
+
-
پردازش نیمه هادی اغلب شامل خلاء بالا، قرار گرفتن در معرض پلاسما، گازهای فرآیند خورنده، و مواد شیمیایی فوق{0} خالص است. انتخاب نامناسب مواد یا درمان ناکافی سطح ممکن است منجر به خوردگی، آلودگی، خروج بیش از حد گاز یا کاهش عمر تجهیزات شود. قطعات تیتانیوم با کیفیت بالا با استفاده از نمرات تیتانیوم مناسب، ماشینکاری دقیق، تکمیل سطح کنترل شده و بازرسی دقیق کیفیت تولید می شوند. انتخاب مواد مناسب همراه با فرآیندهای تولید تمیز به بهبود مقاومت در برابر خوردگی، کاهش گازهای خروجی، به حداقل رساندن تولید ذرات و افزایش عمر مفید قطعه در شرایط کاری نیمه هادی سخت کمک می کند.
تگ های محبوب: قطعات نیمه هادی تیتانیوم، تولید کنندگان قطعات نیمه هادی تیتانیوم چین، تامین کنندگان، کارخانه, قطعات CNC 5 محوره تیتانیومی, قطعات ماشینکاری شده آنودایز شده با تیتانیوم, قطعات فرز CNC تیتانیوم, قطعات ماشینکاری شده با سوراخ عمیق تیتانیوم, قطعات ماشینکاری شده تیتانیومی, اجزای EDM سیم تیتانیوم






